CLS系列窄薄型線性精密位移臺
緊湊設(shè)計(jì)，極致減少無效行程
標(biāo)配納米級光柵，雙向重復(fù)精度為100nm
全行程絕對位置定位，無需回零
配備SMD高集成控制器，達(dá)到極致便攜應(yīng)用
適用于半導(dǎo)體、科研中掃描、點(diǎn)到點(diǎn)應(yīng)用
極具性價(jià)比的納米級定位平臺
均有獨(dú)立可靠的精度檢驗(yàn)認(rèn)證報(bào)告
產(chǎn)品規(guī)格
| 產(chǎn)品名稱 | CLS-50 | CLS-100 | CLS-150 |
| 行程范圍 | 50mm | 100mm | 150mm |
| 最大速度 | 15mm/s | 15mm/s | 15mm/s |
| 最小位移量 | 50nm | 50nm | 50nm |
| 中心負(fù)載能力 | 150N | 150N | 150N |
| 軸向負(fù)載能力 | 25N | 25N | 25N |
| 雙向重復(fù)精度 | ±0.10 μm | ±0.10 μm | ±0.10 μm |
| 精度 | ±0.30 μm | ±0.30 μm | ±0.30 μm |
| 原點(diǎn)重復(fù)精度 | ±0.050 μm | ±0.050 μm | ±0.050 μm |
| 重量 | 2kg | 2kg | 2kg |
適用于半導(dǎo)體、科研中掃描、點(diǎn)到點(diǎn)應(yīng)用
