高精度Z軸滑臺(tái)
緊湊、薄型、高重復(fù)性設(shè)計(jì)
標(biāo)配納米級(jí)光柵，雙向重復(fù)精度為100nm
全行程絕對(duì)位置定位，無需回零
配備SMD高集成控制器，達(dá)到極致便攜應(yīng)用
適用于半導(dǎo)體、工業(yè)及科研中掃描、點(diǎn)到點(diǎn)應(yīng)用
極具性價(jià)比的納米級(jí)定位平臺(tái)
均有獨(dú)立可靠的精度檢驗(yàn)認(rèn)證報(bào)告
產(chǎn)品規(guī)格
| 產(chǎn)品名稱 | LLS-100 |
| 行程范圍 | 100mm |
| 最大速度 | 15mm/s |
| 最小位移量 | 50nm |
| 中心負(fù)載能力 | 150N |
| 軸向負(fù)載能力 | 25N |
| 雙向重復(fù)精度 | ±0.10 μm |
| 精度 | ±0.30 μm |
| 原點(diǎn)重復(fù)精度 | ±0.050 μm |
| 重量 | 2kg |
